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電子行業EDI超純水設備

產品介紹

  電子行業超純水設備是一款半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。

工藝設計

  1、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點

  2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機→PH調節→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

  3、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(最新工藝性價比最高):自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節系統→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

設備特點

  1.制取電子級超純水

  2.可連續自動生產,不必停機再生

  3.出水水質優于常規離子交換法

  4.不需酸堿再生,不污染環境

  5.運行成本低,占地面積小

技術參數
電導率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水溫度:5~35℃
總硬度:<0.5ppm
有機物:<0.5 ppm,TOC為零
氧化物:≤0.05ppm
鐵、錳:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm
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